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传统真空系统存在的问题
传统减压拉晶工艺的直拉单晶炉真空系统见图1。其工作原理是刚开始工作时，拉伸腔和炉膛之间的隔离阀是打开的，主滑阀真空泵8 通过主真空球阀1 将拉伸腔和炉膛内气体抽出，要求炉膛内的极限真空度达到6.67Pa以下，主
2014.04.23
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